
SL870026 主打高精度低流量監測,量程 0-10L/min,精度達 ±0.2% FS,適用于醫療設備(如呼吸機氣體流量控制)、電子芯片制造(如晶圓清洗時惰性氣體流量監測)的惰性氣體監測場景。安裝采用微型螺紋接口(M12×1.25,精度 6H),需搭配精密流量調節閥(如針型閥),安裝位置需遠離振動源(如水泵、風機,振動頻率≤50Hz,振幅≤0.1mm),避免振動導致內部熱式傳感元件與支架共振,影響熱平衡檢測,進而產生 ±0.5% 的精度偏差。供電支持 5-24V DC 寬電壓輸入(可適配電池供電或設備自帶電源),信號輸出為 4-20mA,可直接接入精密數據采集儀(如 Agilent 34970A),接線時需使用屏蔽線(屏蔽層接地),減少電磁干擾對低流量信號的影響。
操作核心是零點漂移修正:開機后需預熱 30 分鐘(讓傳感元件溫度穩定,避免環境溫度變化導致漂移),在管道無氣流狀態下(關閉閥門后用流量計確認流量為 0),長按傳感器側面 “Cal" 鍵進入校準模式(指示燈閃爍),通過 “+"“-" 鍵將零點信號調至 4mA 標準值(可通過數據采集儀實時監測輸出電流),調整后短按 “Save" 鍵保存。運行中需嚴格保持氣體清潔度,要求氣體含塵量≤0.1mg/m3(可在傳感器前端加裝精密過濾器,過濾精度 0.1μm),否則粉塵易附著在熱絲表面,形成隔熱層,導致檢測值比實際值偏高 5% 以上。故障處理方面,若出現信號波動(如電流在 4.2-4.5mA 間跳動,對應流量 0.5-0.75L/min),先使用萬用表測量電源電壓(波動需≤±0.5V,排除電源不穩定問題),再用無塵棉簽蘸無水乙醇清潔傳感頭;若輸出信號恒為 20mA(對應 10L/min),可能為量程過載(需檢查閥門是否開度過大,或管道是否存在壓力驟升),降低流量至量程內即可恢復。該傳感器體積小巧(直徑 25mm,長度 80mm),可集成到小型設備內部,防護等級 IP64(可防飛濺液體,禁止浸泡),適合實驗室潔凈環境(潔凈度 Class 1000)使用,支持每年一次原廠校準服務,校準后可確保精度維持在 ±0.2% FS,滿足高精度場景需求。